Title of article
Accurate control of surface chartacteristics of glass-like carbon by controlled plasma of SF6-Ar mixed gas
Author/Authors
Yori Isumi، نويسنده , , Hidetoshi Ishihara، نويسنده , , Takeo Ohte، نويسنده , , Akira Kojima، نويسنده ,
Issue Information
روزنامه با شماره پیاپی سال 1997
Pages
1
From page
1680
To page
1680
Journal title
Carbon
Serial Year
1997
Journal title
Carbon
Record number
1117458
Link To Document