Title of article
Preparation of carbonaceous thin films by plasma-assisted chemical vapor deposition using active fluorine atoms
Author/Authors
Tomokazu Fukutsuka، نويسنده , , Yoshiaki Matsuo، نويسنده , , Yosohiro Sugie، نويسنده , , Takeshi Abe، نويسنده , , Zempachi Ogumi، نويسنده ,
Issue Information
روزنامه با شماره پیاپی سال 2008
Pages
1
From page
562
To page
562
Journal title
Carbon
Serial Year
2008
Journal title
Carbon
Record number
1125567
Link To Document