• Title of article

    IR laser-induced decomposition of tetravinylsilane for chemical vapour deposition of Si/C/H materials

  • Author/Authors

    Vladislav D ?nek، نويسنده , , Zden k Bastl، نويسنده , , Jan ubrt، نويسنده , , Roger Taylor، نويسنده , , Josef Pola، نويسنده ,

  • Issue Information
    روزنامه با شماره پیاپی سال 1995
  • Pages
    8
  • From page
    199
  • To page
    206
  • Keywords
    chemical vapour deposition , Infrared multiphoton decomposition , Tetravinylsilane , Si/C/H films , Pyrolysis
  • Journal title
    Journal of Analytical and Applied Pyrolysis
  • Serial Year
    1995
  • Journal title
    Journal of Analytical and Applied Pyrolysis
  • Record number

    188191

    • Link To Document
    https://search.isc.ac/dl/search/defaultta.aspx?DTC=10&DC=188191