Title of article
Nucleation and growth of hemispherical-grained Si by rapid thermal CVD
Author/Authors
S. Berger، نويسنده , , O. Raslin، نويسنده , , H. Gilboa، نويسنده , , E. Iskevitch، نويسنده , , H. Spielberg and S. Levy، نويسنده ,
Issue Information
روزنامه با شماره پیاپی سال 1999
Pages
13
From page
1041
To page
1053
Journal title
nanostructured materials
Serial Year
1999
Journal title
nanostructured materials
Record number
332682
Link To Document