Title of article
Phase shifting SEM moiré method
Author/Authors
Huimin Xie، نويسنده , , Haixia Shang، نويسنده , , Fulong Dai، نويسنده , , Biao Li and Yongming Xing، نويسنده ,
Issue Information
روزنامه با شماره پیاپی سال 2004
Pages
7
From page
291
To page
297
Keywords
Strain , MEMS , Phase shifting technique , Holographic grating , SEM scanning moir(e method
Journal title
OPTICS & LASER TECHNOLOGY
Serial Year
2004
Journal title
OPTICS & LASER TECHNOLOGY
Record number
335050
Link To Document