• Title of article

    Phase shifting SEM moiré method

  • Author/Authors

    Huimin Xie، نويسنده , , Haixia Shang، نويسنده , , Fulong Dai، نويسنده , , Biao Li and Yongming Xing، نويسنده ,

  • Issue Information
    روزنامه با شماره پیاپی سال 2004
  • Pages
    7
  • From page
    291
  • To page
    297
  • Keywords
    Strain , MEMS , Phase shifting technique , Holographic grating , SEM scanning moir(e method
  • Journal title
    OPTICS & LASER TECHNOLOGY
  • Serial Year
    2004
  • Journal title
    OPTICS & LASER TECHNOLOGY
  • Record number

    335050