Title of article
Halogen etching of Si via atomic-scale processes
Author/Authors
C. M. Aldao، نويسنده , , J. H. Weaver، نويسنده ,
Issue Information
روزنامه با شماره پیاپی سال 2001
Pages
42
From page
189
To page
230
Journal title
Progress in Surface Science
Serial Year
2001
Journal title
Progress in Surface Science
Record number
342811
Link To Document