Title of article
Experimental and numerical investigation of a capacitively coupled low-radio frequency nitrogen plasma
Author/Authors
Peter S. Conti and Dalton F. Lopes، نويسنده , , P. I. Porshnev، نويسنده , , A. Fridman، نويسنده , , L. A. Kennedy، نويسنده , , J. M. Grace، نويسنده , , K. D. Sieber، نويسنده , , D. R. Freeman، نويسنده , , K. S. Robinson، نويسنده ,
Issue Information
روزنامه با شماره پیاپی سال 2001
Pages
13
From page
79
To page
91
Keywords
Non-equilibrium plasma , Polymer films
Journal title
Experimental Thermal and Fluid Science
Serial Year
2001
Journal title
Experimental Thermal and Fluid Science
Record number
350181
Link To Document