Title of article
Microfabrication techniques using focused ion beams and emergent applications
Author/Authors
M. J. Vasile، نويسنده , , R. Nassar، نويسنده , , J. Xie ، نويسنده , , K. H. Guo، نويسنده ,
Issue Information
روزنامه با شماره پیاپی سال 1999
Pages
10
From page
235
To page
244
Keywords
Micromanipulators , Microtools , Micromachining , Microsurgical tools , Focused ion beams , Sputter simulations , Sputter yields , Microfabrication
Journal title
Micron
Serial Year
1999
Journal title
Micron
Record number
356785
Link To Document