Title of article
Mechanics of relaxing SiGe islands on a viscous glass
Author/Authors
R. Huang، نويسنده , , H. Yin، نويسنده , , J. Liang، نويسنده , , J. C. Sturm، نويسنده , , K. D. Hobart ، نويسنده , , Z. Suo، نويسنده ,
Issue Information
روزنامه با شماره پیاپی سال 2002
Pages
16
From page
441
To page
456
Keywords
semiconductor fabrication , stress relaxation , elasticplate , viscous flow , Fracture
Journal title
Acta Mechanica Sinica
Serial Year
2002
Journal title
Acta Mechanica Sinica
Record number
360338
Link To Document