Title of article
Automatic control in microelectronics manufacturing: Practices, challenges, and possibilities
Author/Authors
Thomas F. Edgar، نويسنده , , Stephanie W. Butler، نويسنده , , W. Jarrett Campbell، نويسنده , , Carlos Pfeiffer، نويسنده , , Christopher Bode، نويسنده , , Sung Bo Hwang، نويسنده , , K. S. Balakrishnan، نويسنده , , J. Hahn، نويسنده ,
Issue Information
روزنامه با شماره پیاپی سال 2000
Pages
37
From page
1567
To page
1603
Keywords
quality control , Sensors , Temperature Control , End point control , Factory automation , Microelectronics manufacturing , Predictive control , Process control
Journal title
Automatica
Serial Year
2000
Journal title
Automatica
Record number
369051
Link To Document