Title of article
Direct electrostatic levitation and propulsion of silicon wafer
Author/Authors
Ju-Jin Kim، نويسنده , , Yih، نويسنده , , T.C.، نويسنده , , Higuchi، نويسنده , , T.، نويسنده , , Jong Up Jeon، نويسنده ,
Issue Information
روزنامه با شماره پیاپی سال 1998
Pages
10
From page
975
To page
984
Keywords
silicon wafers. , Electrostatic forces , Levitation , noncontact manipulation , Propulsion
Journal title
IEEE Transactions on Industry Applications
Serial Year
1998
Journal title
IEEE Transactions on Industry Applications
Record number
380696
Link To Document