• Title of article

    The Effect of Substrate Temperature on the Properties of Nanostructured Silicon Carbide Films Deposited by Hypersonic Plasma Particle Deposition

  • Author/Authors

    J. Blum، نويسنده , , N. Tymiak، نويسنده , , A. Neuman، نويسنده , , Z. Wong، نويسنده , , N.P. Rao، نويسنده , , S.L. Girshick، نويسنده , , W.W. Gerberich، نويسنده , , P.H. McMurry ، نويسنده , , J.V.R. Heberlein ، نويسنده ,

  • Issue Information
    روزنامه با شماره پیاپی سال 1999
  • Pages
    12
  • From page
    31
  • To page
    42
  • Keywords
    silicon carbide , nanostructural film , Thermal plasma , Particle deposition , Nanoparticles , film hardness
  • Journal title
    Journal of Nanoparticle Research
  • Serial Year
    1999
  • Journal title
    Journal of Nanoparticle Research
  • Record number

    389906

    • Link To Document
    https://search.isc.ac/dl/search/defaultta.aspx?DTC=10&DC=389906