Title of article
Micro-electromechanical Systems for Nano-science
Author/Authors
Nicolas F. de. Rooij and U. Staufer ، نويسنده , , C. Beuret، نويسنده , , S. Gautsch، نويسنده , , W. Noell، نويسنده , , G. Schuurmann، نويسنده , , C. Stebler ، نويسنده , , N.F. de Rooij ، نويسنده ,
Issue Information
روزنامه با شماره پیاپی سال 2000
Pages
6
From page
413
To page
418
Keywords
scanning probe microscopy , dust particles , MEMS , electron-beam lithography , space applications
Journal title
Journal of Nanoparticle Research
Serial Year
2000
Journal title
Journal of Nanoparticle Research
Record number
389995
Link To Document