Title of article
Modeling and experimental validation of sharpening mechanism based on thermal oxidation for fabrication of ultra-sharp silicon nanotips
Author/Authors
Agache، نويسنده , , V.، نويسنده , , Ringot، نويسنده , , R.، نويسنده , , Joao F. Bigotte ، نويسنده , , P.، نويسنده , , Senez، نويسنده , , V.، نويسنده , , Legrand، نويسنده , , B.، نويسنده , , Buchaillot، نويسنده , , L.، نويسنده , , Collard، نويسنده , , D.، نويسنده ,
Issue Information
روزنامه با شماره پیاپی سال 2005
Pages
9
From page
548
To page
556
Keywords
Dry oxidation , sharpening effect , silicon tips , stress effects , thermal oxidation.
Journal title
IEEE Transactions on Nanotechnology
Serial Year
2005
Journal title
IEEE Transactions on Nanotechnology
Record number
398768
Link To Document