Title of article
Electrical Characterization of Ordered Si:P Dopant Arrays
Author/Authors
Pok، نويسنده , , W.، نويسنده , , Reusch، نويسنده , , T.C.G.، نويسنده , , Scappucci، نويسنده , , G.، نويسنده , , Rueb، نويسنده , , F.J.، نويسنده , , Hamilton، نويسنده , , A.R.، نويسنده , , Simmons، نويسنده , , M.Y، نويسنده ,
Issue Information
روزنامه با شماره پیاپی سال 2007
Pages
5
From page
213
To page
217
Keywords
Nanotechnology , Phosphorus , semiconductor device fabrication , tunneling. , planararrays , Microscopy
Journal title
IEEE Transactions on Nanotechnology
Serial Year
2007
Journal title
IEEE Transactions on Nanotechnology
Record number
398932
Link To Document