Title of article
Pattern Generation by Using Multistep Room-Temperature Nanoimprint Lithography
Author/Authors
Michael F. Harrer، نويسنده , , S.، نويسنده , , Yang، نويسنده , , J.K.W.، نويسنده , , Salvatore، نويسنده , , G.A.، نويسنده , , Berggren، نويسنده , , K.K.، نويسنده , , Ilievski، نويسنده , , F.، نويسنده , , Ross، نويسنده , , C.A.، نويسنده ,
Issue Information
روزنامه با شماره پیاپی سال 2007
Pages
6
From page
639
To page
644
Keywords
quasi-arbitrarypatterns , room-temperature. , Multistep , nanoimprint lithography
Journal title
IEEE Transactions on Nanotechnology
Serial Year
2007
Journal title
IEEE Transactions on Nanotechnology
Record number
398991
Link To Document