Title of article
Modeling the nucleation kinetics and aerosol dynamics of particle formation during CVD of silicon from silane
Author/Authors
M.T. Swihart، نويسنده , , S. Nijhawan، نويسنده , , M.R. Mahajan، نويسنده , , S.-M. Suh، نويسنده , , S.L. Girshick، نويسنده ,
Issue Information
ماهنامه با شماره پیاپی سال 1998
Pages
2
From page
79
To page
80
Keywords
Silane , chemical kinetics , Silicon CVD , Nucleation
Journal title
Journal of Aerosol Science
Serial Year
1998
Journal title
Journal of Aerosol Science
Record number
741349
Link To Document