Title of article
Microdefects induced by cavitation for gettering in silicon wafer
Author/Authors
Dan O. Macodiyo، نويسنده , , Hitoshi Soyama، نويسنده , , Takashi Masakawa، نويسنده , , Kazuo Hayashi، نويسنده ,
Issue Information
دوهفته نامه با شماره پیاپی سال 2006
Pages
3
From page
5380
To page
5382
Journal title
Journal of Materials Science
Serial Year
2006
Journal title
Journal of Materials Science
Record number
831185
Link To Document