شماره ركورد
14874
عنوان
شبيه سازي فرايند اكسيداسيون 7*7 Si)III(: به روش مونت كارلو
پديدآورندگان
سعيديان شاهپور نويسنده , ايرجي زاده اعظم نويسنده
نام دانشگاه
دانشگاه صنعتي شريف ، دانشكده فيزيك
رشته
فوق ليسانس
تعداد صفحه
200
سال انتشار
1376
كليدواژه زبان طبيعي
شبيه سازي , روش مونت كارلو , اكسايش , سيليسيم , بخش فيزيك
دامنه موضوعي
علوم پايه
چكيده
هدف از پروژه حاضر شبيه سازي فرايند اكسيداسيون سطح 7*7 Si)III(: با استفاده از روش مونت كارلو است . مدل بكار رفته شامل فرايندهاي جذب فيزيكي ، جذب شيميايي ، پخش سطحي و نيز دفع سطحي SiO است . منحني هاي پوشيدگي سطح برحسب ميزان اكسيژن دهي ، در دماهاي پايين يك روند سريع و به دنبال آن يك روند كند را تا رسيدن به حد اشباع نشان مي دهند. ...
يادداشت
1-1
زبان
فارسي
لينک به اين مدرک