• شماره ركورد
    14999
  • عنوان

    فرآيند اكسيداسيون در ساخت مدارهاي تجمعي سيليكون

  • پديدآورندگان

    قرباني شعبان رضا نويسنده , كشميري حسين نويسنده

  • نام دانشگاه
    دانشگاه فردوسي مشهد، دانشكده علوم
  • رشته
    فوق ليسانس
  • تعداد صفحه
    169
  • سال انتشار
    1371
  • كليدواژه زبان طبيعي

    بخش شيمي ، فيزيك , مدارهاي تجمعي , اكسيداسيون , سيليكون ها , برنامه هاي كامپيوتري , فرآيندها(صنايع )

  • دامنه موضوعي
    علوم پايه
  • چكيده
    با توجه به امكانات موجود، نتايج به دست آمده بسيار مثبت و رضايتبخش بوده است . براي انجام اكسيداسيون و تحقيق در زمينه آهنگ اكسيداسيون و تاثير دقيق عوامل مختلف بر روي آن احتياج به يك كوره اكسيداسيون مدرن دارد. كوره در دسترس براي اين پروژه ، فقط در يك دماي خاص (115 درجه سانتيگراد) كار مي كرد...
  • يادداشت
    1-1
  • زبان
    فارسي