• شماره ركورد
    15121
  • عنوان

    شبيه سازي كامپيوتري فرايند انتقال و توزيع ذرات در لايه نشاني اسپاترينگ به روش مونت كارلو: مطالعه لايه هاي نازك سيستم ع /س ه

  • پديدآورندگان

    مشفق علي رضا نويسنده , صبوري دودران اميرعباس نويسنده

  • نام دانشگاه
    دانشگاه صنعتي شريف ، دانشكده علوم فيزيك
  • رشته
    فوق ليسانس
  • تعداد صفحه
    164
  • سال انتشار
    1376
  • كليدواژه زبان طبيعي

    ذره , فيلم نازك , سيستم اس .آي /سي .يو , بخش فيزيك , اسپاترينگ , شبيه سازي كامپيوتري , روش مونت كارلو

  • دامنه موضوعي
    علوم پايه
  • چكيده
    فرآيند اسپاترينگ يكي از فرآيندهاي سطح است كه در رشد لايه هاي نازك از اهميت خاصي برخوردار است با توجه به اهميت تكنولوژي لايه هاي نازك در صنايع ميكروالكترونيك و اپتيك بويژه رشد سيستمهاي چندلايه اي اقدام به شبيه سازي كامپيوتري فرآيند انتقال و توزيع ذرات اسپاتر شده از سطح ماده هدف به زيرلايه با استفاده از روش مونت كارلو نموده ايم . ...
  • يادداشت
    1-1
  • زبان
    فارسي
    • لينک به اين مدرک
    https://search.isc.ac/dl/search/defaultta.aspx?DTC=16&DC=15121