16129

دانشگاه صنعتي شريف ، دانشكده فيزيك

فوق ليسانس

241

1372

علوم پايه

در اين پروژه به بررسي كليه پارامترهايي كه در تكنيك اسپاترينگ )RF,DC( مطرح هستند، پرداخته مي شود. تاثير تغييرات انرژي ، زاويه برخورد و جرم اتمي يونهاي بمباران كننده (به ويژه يون )A+ در بهره اسپاترينگ و همچنين تاثير فشار گاز محيط (محفظه )، دانسيته توان تخليه و فاصله جدايي بين آند-كاند در نرخ لايه نشاني مواد هدف از جمله واناديم ، كبالت ، مس ، نيوبيم ، مولبيدن و تانتالم ، مورد مطالعه قرار مي گيرد. ...

1-1

فارسي