شماره ركورد
20507
عنوان
مطالعه عددي لايه نشاني بخار شيميايي كربيد سيلسيوم به كمك PECVD
پديدآورندگان
ميلاني شيروان كامل نويسنده
نام دانشگاه
سيستان و بلوچستان - دانشگاه سيستان و بلوچستان
محل تحصيل
زاهدان
مقطع تحصيلي
فوق ليسانس
نام دانشكده
مهندسي
رشته
مهندسي مكانيك
گرايش
تبديل انرژي
تعداد صفحه
2
سال انتشار
1393/07/30
كليدواژه زبان طبيعي
PECVD , لايه نشاني به كمك پلاسما , شبيه سازي , كربيد سيلسيوم , سيلسيوم گاز سيلان , گاز پروپان
زبان
فارسي
لينک به اين مدرک