شماره ركورد
2734
عنوان
بررسي خواص اليههاي نازك TI تهيه شده به روش كندوپاش مگنتروني dc
پديدآورندگان
خداكريمي صبا نويسنده , بيدادي، حسنفپرهيزگار، مجتبي نويسنده
نام دانشگاه
دانشگاه تبريز
رشته
فوقليسانس
تعداد صفحه
103
سال انتشار
1386
كليدواژه زبان طبيعي
لايههاي نازك تيتانيوم , كندوپاش مگنتروني , خواص الكتريكي
چكيده
... در اين كار تجربي اليههاي نازكي از تيتانيوم با استفاده از دستگاه كندوپاش مكنتروني تحت شرايط متفاوت برروي زير اليههاي شيشهاي تهيه و برخي از خواص فيزيكي الكتريكي ساختاري و مكانيكي آنها مورد بررسي قرار گرفته است. نتايج حاصل از خواص فيزيكي مانند خواص الكتريكي ساختاري و مكانيكي آنها مورد بررسي قرار گرفته است. نتايج حاصل نشان ميدهد كه مقاومت الكتريكي فيلم ها با افزايش توان و دماي زير اليه كاهش يفاته و با افزايش فشار پايه و فشار گاز كاري افزايش مييابد...
يادداشت
دانشگاه تبريز
زبان
فارسي
لينک به اين مدرک