38531

دانشگاه مازندران ، دانشكده مركز تحقيقاتي و آموزشي شيمي

فوق ليسانس

73

1369

علوم پايه

هدف از اين پروژه بدست آوردن روشي مناسب براي ايجاد رتيكول (شبكه دوربينهاي فاصله ياب ) و ساختن دستگاهي براي توليد انبوه آن بوده است . جهت ايجاد رتيكول با كيفيت مناسب عواملي نظير جنس فلز پوشش دهنده سطح بستره ، روش ايجاد لايه فلزي ، نوع فتورزيست (پليمر حساس به نور)، روش پوشش دهي فتورزيست ، آلودگيهاي سطح بستره +حلال باقيمانده در فتورزيست ، سرعت چرخش بستره ، درجه حرارت ، طول موج نور، شدت و زمان نوردهي ، نوع و غلظت ، ماده ظهور و حكاكي بررسي و بهينه شده اند. ...

1

فارسي