شماره ركورد
39224
عنوان
لايه گذاري در محيط پلاسما به روش D.C Magnetron Sputtering
پديدآورندگان
داورپناه عبدالمحمود نويسنده , اهرابي محمدرحيم نويسنده
نام دانشگاه
دانشگاه تهران دانشكده علوم (فيزيك )
رشته
فوق ليسانس
تعداد صفحه
170
سال انتشار
1371
كليدواژه زبان طبيعي
لايه گذاري , پلاسما , روش }D.C Magnetron Sputtering{ , بخش فيزيك
دامنه موضوعي
علوم پايه
چكيده
از هدايت يونهاي بوجود آمده در تخليه نوراني با جريان مستقيم براي پراكنش يك ماده معين استفاده مي شود sputterings Diode با اعمال ميدان مغناطيس در امتداد سطح كاتد الكترونها به جاي خط مستقيم به صورت دايره اي حرت خواهند كرد در نتيجه مسير حركتشان در پلاسما افزايش يافته و باعث يونيزاسيون اتمهاي بيشتري مي شود. ....
يادداشت
1
زبان
فارسي
لينک به اين مدرک