40049

دانشگاه صنعتي شريف دانشكده مهندسي شيمي

فوق ليسانس

0

1370

فني و مهندسي

در صنايع ميكروالكترونيك ، مقدار قابل توجهي اسيد، براي عمليات Etching چه به صورت خالص و چه به صورت مخلوط به كار مي روند. برحسب كاربرد، اين اسيدها شامل اسيد فلويوريدريك ، اسيد استيك ، اسيد فسفريك و ... مي باشند. در ميان اين اسيدها، اسيد فلويوريدريك )HF( بيشترين مصرف را دارد، زيرا در توليد نيمه هاديهاي سيليكوني به كار مي رود. اين اسيد هم از لحاظ قيمت و ميزان مصرف و هم از لحاظ آلودگي محيط زيست مسايل زيادي دارد كه مصرف مجدد و عدم دفع آن را ضروري مي نمايد. ...

1

فارسي