شماره ركورد
45082
عنوان
مطالعه تجربي اكسيداسيون Si
پديدآورندگان
تقوي نيا نيما نويسنده , ايرجي زاده اعظم نويسنده
نام دانشگاه
دانشگاه صنعتي شريف ، دانشكده علوم فيزيك
رشته
فوق ليسانس
تعداد صفحه
214
سال انتشار
1375
كليدواژه زبان طبيعي
اكسايش , سيليسيم , بخش فيزيك , تفنگ يوني , عدسي الكترواستاتيك
دامنه موضوعي
علوم پايه
چكيده
هدف از اين پروژه مطالعه اكسيداسيون سطح 3i از يك ديدگاه ميكروسكوپي است . سطح Si در معرض اكسيژن دهي آرام در يك محفظه UHV قرار گرفته و تغييرات پوشيدگي برحسب زمان بوسيله پيك اوژه Si اندازه گيري شده است . بوسيله يك مدل جذب فيزيكي - جذب شيميايي - دفع سطحي SiO نتايج تجربي تفسير شده اند. ...
يادداشت
1-1
زبان
فارسي
لينک به اين مدرک