55209

فوق ليسانس

0

در اين پايان نامه ابتدا روشهاي متداول اندازه گيري ضخامت لايه هاي ناك همراه با اشكالات مزايا و حدود دقت آنها بررسي مي شود. و بعد اصول و كاركرد يك روش ضخامت سنجي جديد معرفي مي شود. در مقدمه پايان نامه از اهميت اندازه گيري ضخامت لايه هاي نازك و سير تاريخي روشهاي ضخامت سنجي سخن رفته است . در فصل اول شش روش مرسوم براي اندازه گيري آهنگ رشد ضخامت لايه بررسي شده است . از ميان اين روشها، روش نشانگر اپتيك با تفصيل بيشتري مورد مطالعه قرار گرفته و مفاهيم ضروري براي فصول بعدي بسط داده شده است . در فصل دوم نه روش اندازه گيري ضخامت لايه هاي آماده ارايه مي شود و براي ايجاد زمينه تجربي و نظري لازم براي فصل سوم روشهاي ضخامت سنجي مبتني برتداخل دو پرتوي و بيضي سنجي به تفصيل مورد بحث قرار گرفته اند. در فصل سوم نخست مقايسه اي بين مزايا و اشكالات روشهاي اپتيكي فصل دوم صورت گرفته است . آنگاه اصول نظري روش جديد درحالت تدخل دو پرتوي و چند پرتوي آورده شده و نشان داده شده است كه با تداخل دادن دو پرتو با قطبيدگيهاي دايره اي راستگرد و چپگرد در حالت تداخل دو پرتوي نوري با ...

دانشگاه تهران

فارسي