شماره ركورد
67233
عنوان
اندازه گيري آهنگ لايه نشاني در فيلم هاي نازك تيتانيوم تهيه شده به روش كندوپاش پلاسمايي
پديدآورندگان
بيدادي حسن نويسنده , هاديان فرامرز نويسنده
نام دانشگاه
دانشگاه تبريز
رشته
فوق ليسانس
تعداد صفحه
96
سال انتشار
1384
كليدواژه زبان طبيعي
كندوپاش مگنتروني لايه نشاني يا نهشت افت كاتدي فيزيك رده علوم پايه
چكيده
مفيد بودن خصوصيات لايه هاي نازك و جالب توجه بودن مطالعه به روي رفتار جامدهاي دوبعدي باعث شده كه چه از نظر عملي و چه از نظر تكنولوژي به لايه هاي نازك توجه ويژه اي شود. امروزه لايه هاي نازك در ساخت وسايل نوري ، الكترونيكي ، والكترواپتيكي ، آينه هاي ليزر، قطعات آكوستيكي و پوشش هاي محافظتي نقش اساسي دارند. يكي از موارد كاربرد لايه هاي نازك در تهيه شيشه هاي رفلكس است . اين شيشه ها اين شيشه ها علاوه بر زيبايي ، عايق گرما بوده و همچنين منعكس كننده نور فرابنفش ، مادون قرمز و حتي مريي ميباشند كه بستگي به نوع ماده نهشته شده و ضخامت آن دارد. اين شيشه ها با نشاندن يك يا چندين نوع پوشش از فلزات خاص و يا اكسيد آنها تهيه مي شود. در اين كار تجربي Ti به روي شيشه نشانده شده و تغيير آهنگ نهشت فيلم با فاصله كاتد و زيرلايه و همين طور فشار در سه حالت مختلف با منافع تغذيه DC و RF بطور جداگانه و با هم بررسي شده است . مقايسه نتايج تجربي حاصله نشان مي دهند كه آهنگ نهشت متناسب با يك تقسيم بر d در حالات مختلف ذكر شده در بالاست . در فشارهاي بالاتر آهنگ نهشت به خاطر پراكنگي اتم هاي كندوپاشي با مولكول هاي گاز باقيمانده ، كاهش مي يابد...
يادداشت
دانشگاه تبريز
زبان
فارسي
لينک به اين مدرک