71087

دانشگاه تبريز

فوق ليسانس

101

1385

... در اين كار تجربي فلزات Al , CU به صورت فيلم نازك با استفاده از كندوپاش مگنتروني به روي بستر شيشه اي نشانده شده و تغيير آهنگ نهشت فيلم با فشار و درصدهاي مختلف تركيب گازآرگون در يك پلاسماي نيون براي دو حالت مختلف با مانع تغذيه DC و RF به طور جداگانه بررسي شده است . مقايسه نتايج تجربي حاصله نشان مي دهد. كه آهنگ نهشت با افزايش درصد آرگون افزايش مي يابد. همچنين در فشارهاي بالاتر آهنگ نهشت به دليل پراكندگي اتم هاي كندوپاشي با مولكول هاي گاز باقيمانده كاهش مي يابد همچنين مقايسه نتايج تجربي با نتايج نظري براساس تيوري سيگموند نشان مي دهد كه اين دو نتيجه با هم تطابق دارند. در ارتباط با تاثير تغييرات فشار برآهنگ لايه نشاني نيز انطباق نتايج تجربي و نظري مشاهده مي شود...

دانشگاه تبريز

فارسي