• شماره ركورد
    72199
  • عنوان

    بررسي خواص لايه هاي نازك TI تهيه شده به روش كندوپاش مگنتروني dc

  • پديدآورندگان

    خداكريمي‌ صبا نويسنده , بيدادي‌، حسن‌فپرهيزگار، مجتبي‌ نويسنده

  • نام دانشگاه
    دانشگاه تبريز
  • رشته
    فوق ليسانس
  • تعداد صفحه
    103
  • سال انتشار
    1386
  • كليدواژه زبان طبيعي

    لايه هاي نازك تيتانيوم كندوپاش مگنتروني خواص الكتريكي چسبندگي فيزيك رده علوم پايه

  • چكيده
    ... در اين كار تجربي لايه هاي نازكي از تيتانيوم با استفاده از دستگاه كندوپاش مكنتروني تحت شرايط متفاوت برروي زير لايه هاي شيشه اي تهيه و برخي از خواص فيزيكي الكتريكي ساختاري و مكانيكي آنها مورد بررسي قرار گرفته است . نتايج حاصل از خواص فيزيكي مانند خواص الكتريكي ساختاري و مكانيكي آنها مورد بررسي قرار گرفته است . نتايج حاصل نشان مي دهد كه مقاومت الكتريكي فيلم ها با افزايش توان و دماي زير لايه كاهش يفاته و با افزايش فشار پايه و فشار گاز كاري افزايش مي يابد...
  • يادداشت
    دانشگاه تبريز
  • زبان
    فارسي