شماره ركورد
72199
عنوان
بررسي خواص لايه هاي نازك TI تهيه شده به روش كندوپاش مگنتروني dc
پديدآورندگان
خداكريمي صبا نويسنده , بيدادي، حسنفپرهيزگار، مجتبي نويسنده
نام دانشگاه
دانشگاه تبريز
رشته
فوق ليسانس
تعداد صفحه
103
سال انتشار
1386
كليدواژه زبان طبيعي
لايه هاي نازك تيتانيوم كندوپاش مگنتروني خواص الكتريكي چسبندگي فيزيك رده علوم پايه
چكيده
... در اين كار تجربي لايه هاي نازكي از تيتانيوم با استفاده از دستگاه كندوپاش مكنتروني تحت شرايط متفاوت برروي زير لايه هاي شيشه اي تهيه و برخي از خواص فيزيكي الكتريكي ساختاري و مكانيكي آنها مورد بررسي قرار گرفته است . نتايج حاصل از خواص فيزيكي مانند خواص الكتريكي ساختاري و مكانيكي آنها مورد بررسي قرار گرفته است . نتايج حاصل نشان مي دهد كه مقاومت الكتريكي فيلم ها با افزايش توان و دماي زير لايه كاهش يفاته و با افزايش فشار پايه و فشار گاز كاري افزايش مي يابد...
يادداشت
دانشگاه تبريز
زبان
فارسي
لينک به اين مدرک