• شماره ركورد
    22461
  • عنوان

    تاثير آهنگ لايه گذاري و اكسايش روي ساختار و انرژي فعالسازي موثر لايه هاي نازك CU لايه گذاري شده در خلا زياد HV

  • محل نشر
    تهران
  • ناشر
    دانشگاه تهران
  • تاريخ
    1379
  • تعداد صفحه
    0
  • كليدواژه

    لايه گذاري , اكسايش , شرايط خلاء }HV{ , لايه هاي نازك }CU{ , شيمي , انرژي فعالسازي