• شماره ركورد
    9044
  • عنوان

    ساخت و مطالعه لايه هاي نازك حفاظتي بر روي لايه هاي مس

  • محل نشر
    تهران
  • ناشر
    دانشگاه صنعتي شريف ، معاونت پژوهشي ، دانشكده فيزيك
  • تاريخ
    1376
  • تعداد صفحه
    0
  • كليدواژه

    لايه هاي مس , ساخت لايه هاي نازك حفاظتي

  • چكيده
    مس بهترين جانشين براي فلز آلومينيوم بعنوان اتصالات الكتريكي در قطعات ميكرو و نانو الكترونيك است از اينرو در سالهاي اخير توجه زيادي به استفاده و رفع مشكلات آن شده است ...
    • لينک به اين مدرک
    https://search.isc.ac/dl/search/defaultta.aspx?DTC=18&DC=9044