9498

تهران

دانشگاه صنعتي شريف ، دانشكده فيزيك

1375

0

لايه نازك كربن هيدروژن دار به روش پلاسما }DC{ از گاز سوختني در شرايط معين بر روي زير لايه هاي مشخص })Cu, Si, Al, Steel({ ساخته شده است انباشت بر روي زير لايه هاي با درجه حرارت 300 تا 400 درجه كلوين ، در شرايط خلاء با فشار كاهش يافته و اختلاف پتانسيل 500 ولت بين آند و كاتد انجام گرفته است ...