شماره ركورد
9509
عنوان
ساخت و مطالعه لايه نازك حفاظتي بر روي مس فاز اول
محل نشر
تهران
ناشر
دانشگاه صنعتي شريف ، دانشكده فيزيك
تاريخ
1375
تعداد صفحه
0
كليدواژه
لايه نازك حفاظتي , مس
چكيده
... هدف از طرح استفاده از روش غيرفعال سازي }Self-aligned{ با استفاده فلزات قابل تبخير مثل واناديم بعنوان لايه واسط بين مس و زير لايه }Si{ و يا شيشه ميباشد...
لينک به اين مدرک