• شماره ركورد
    9509
  • عنوان

    ساخت و مطالعه لايه نازك حفاظتي بر روي مس فاز اول

  • محل نشر
    تهران
  • ناشر
    دانشگاه صنعتي شريف ، دانشكده فيزيك
  • تاريخ
    1375
  • تعداد صفحه
    0
  • كليدواژه

    لايه نازك حفاظتي , مس

  • چكيده
    ... هدف از طرح استفاده از روش غيرفعال سازي }Self-aligned{ با استفاده فلزات قابل تبخير مثل واناديم بعنوان لايه واسط بين مس و زير لايه }Si{ و يا شيشه ميباشد...