كنترل شار يونھا و نانوذرات در توليد ميكروساختارھاي دو بعدي منظم به كمك پلاسما

مروي زهرا نويسنده گروه فيزيك، دانشكده علوم پايه، دانشگاه صنعتي سهند، تبريز , فروتن غلامرضا نويسنده