بررسي تأثير انرژي يون هاي پلاسما بر روي خواص ساختاري، الكتريكي و مكانيكي لايه هاي نازك نيتريد تيتانيوم تهيه شده به روش كندوپاش پلاسمايي واكنشي

در این پژوهش لایه های نازك نیترید تیتانیوم با استفاده از گاز كندوپاشی آرگون و گاز واكنشی نیتروزن به روش كندوپاش پلاسمایی واكنشی تهیه شدند و تأثیر تغییرات انرژی یون های بمباران كننده بر شكل گیری و خواص فیزیكی لایه ها مورد بررسی قرار گرفت. نتایج نشان دهنده آن است كه با افزایش توان منبع تغذیه (و در نتیجه افزایش انرژی یون های پلاسما) نرخ نهشت، ضخامت و اندازه دانه ها در لایههای تهیه شده افزایش می یابند. افزایش اندازه دانه ها كه حاكی از بهبود خواص ساختاری و بلورینگی لایهها می باشد نتایجی از جمله كاهش مقاومت الكتریكی ویزه و افزایش سختی مكانیكی لایه های تهیه شده را در پی دارد.