مطالعه ناهمواري هاي سطحي لايه هاي نازك مس الكتروانباشت شده

در این پژوهش لایه های نازك مس بر روی زیر لایه طلا انباشت داده می شود. در این مقاله اثر چگالی جریان انباشت وضخامت بر روی ناهمواری های سطحی لایه های نازك مس بررسی می شود. با بررسی ناهمواری های سطحی لایه ها به وسیلهمیكروسكوپ نیروی اتمی و ناهمواری های سطحی برحسب طول اسكن، نوع و چگونگی ناهمواری های سطحی مشخص گردید.همچنین از میكروسكوپ الكترونی روبشی برای بررسی مورفولوژی سطح لایه ها استفاده و برای بررسی چگونگی ساختار لایهها از پراش اشعه ایكس استفاده شد.