شبيه سازي سيالي دو بعدي توليد نانوقله هاي رسانا با استفاده از پلاسما

Two-dimensional fluid simulation of plasma-aided fabrication of conductive carbon nanotips

استفاده از پلاسما در رشد نانوساختارها نتايج بهتر و قابل رقابتي در مقايسه با ديگر روش ها بدست مي دهد. اخيراً فرآيند رشد نانوساختارهاي كربني، درپلاسماهاي كم فشار (غير برخوردي) ، به روش شبيه سازي كامپيوتري مورد مطالعه قرار گرفته است. در اين كار رشد نانوقله ها در محيط پلاسمايي در حضور برخوردها، يونيزاسيون، و با در نظر گرفتن اثر ذرات غبار باردار بر روي ساختار غلاف پلاسمايي به روش شبيه سازي عددي معادلات سيالي متناظر مورد بررسي قرار گرفته است. نتايج بدست آمده نشان مي دهند كه صرفنظر از رفتار غير خطي ذرات غبار با افزايش اندازه ولتاژ زيرلايه و دوره تناوب ماكروطرح و همچنين افزايش فشار، شار فرودي به نانوساختار افزايش مي يابد

Plasma nanofabrication provides much better and more competitive results in comparison with the other methods. Recently, the process of fabrication of carbon-nanostructures in low pressure (collisionless) plasmas has been studied extensively using computer simulations. In this work the growth of carbon nanotips has been investigated in a plasma via numerical simulation of the corresponding fluid equations in the presence of collisions and ionization. The results obtained show that, except for the nonlinear behavior of the dust particles, the arrival flux on the microstructure surface increases with increasing the substrate potential, micropattern period, and the pressure of the gas.