اندازه گيري نمايه عمقي كربن به روش آناليز برهم كنش هسته اي

Carbon Depth Profile Measurement by Nuclear Reaction Analysis Method

تعيين نمايه عمقي عناصر مختلف از چالش هاي روش هاي آناليز و مشخصه يابي است. در اين پژوهش از روش هاي آناليز برهم كنش هسته اي 12C(d,p)13C براي مشخصه يابي كربن و روش اندازه گيري كسشان در زاويه خراشان براي اندازه گيري نمايه عمقي هيدروژن نمونه ويفر سيليسيم كاشت شده با گاز متان با انرژي keV 90 استفاده شده است. آناليزها با استفاده از باريكه 2H و+ He با انرژي MeV 1-3 در محفظه بره مكنش مخصوص كانال زني با امكان جابجايي و چرخش نمونه نيز امكان چرخش آشكارساز انجام گرفته است. داده هاي اندازه گيري شده حساسيت زياد روش آناليز با باريكه يوني را براي مشخصه يابي نمونه هاي نظير به نمايش مي گذارد.

Depth profile analysis of various elements is a great challenge for scientists. In this research work, 12C(d,p)13C nuclear reaction analysis is used for carbon characterization in the sample and elastic recoil detection analysis is applied for depth profile analysis of Hydrogen in Si single crystal implanted by CH4+ with 90 keV energies. Analyses were carried out by using 2H and 4He beams in a well-equipped reaction chamber in the Van de Graff laboratory.