مقايسه عملكرد حسگري سنسورهاي هيدروژن فلز-نيم رسانا-فلز (Pd/GaN (MSM و Pt/GaN

Comparison of Sensing Performance of Metal-Semiconductor-Metal (MSM) Hydrogen Sensors Pd/GaN and Pt/GaN

سنسورهاي هيدروژن فلز - نيم رسانا - فلز (MSM) دسته اي از سنسورهاي هيدروژن هستند، كه در مقايسه با ساير سنسورها داراي مزايايي چون اندازه كوچك، مشخصات جريان ولتاژ دو سويه و كاملا متقارن و قابليت كار كردن در دماهاي بالا مي باشند. در اين مقاله عملكرد حسگري دو سنسور هيدروژن Pd / GaN MS و PtGaN با هم مقايسه شده است و مشخص شده است كه در گستره ولتاژ وسيع، سنسور Pd / GaN در غلظت هاي بالاي هيدروژن داراي عملكرد بهتري است و در غلظت هاي پايين هيدروژن سنسور Pt / GaN داراي عملكرد حسگري مناسب تري مي باشد، اما در گستره ولتاژ محدود براي تمام غلظت هايي كه سنسورها در معرض آن قرار گرفته اند، سنسور Pt / GaN داراي عملكرد حسگري بهتري است.

Metal-Semiconductor-Metal (MSM) hydrogen sensors are a group of hydrogen sensors that have benefits as: small size, bidirectional and symmetrical current-voltage characteristics and capability to work at high temperator compared with other sensors.In this article the sensing performance of tow MSM hydrogen sensor, Pd/GaN and Pt/GaN have compared and revealed that in wide voltage range the Pd/GaN sensor have better performance at high concentrations and Pt/GaN sensor have better performance at low concentrations, but in limited voltage range the Pt/GaN have better performance at all concentrations