اثر دماي آنيلينگ بر خواص كربن شبه¬الماسي تهيه شده به روش باريكه¬يوني

در اين پژوهش فيلم¬هاي كربن شبه¬الماسي روي زيرلايه سيليكوني تك¬بلور با استفاده از دو گاز آرگون و پروپان به روش باريكه يوني خطي اعمال شد. سپس ساختار كريستالي، نوع پيوندها، نسبت هيبريداسيون¬هاي sp3 به sp2 ، توپوگرافي و مورفولوژي سطح پوشش به ترتيب به روش¬هاي آزمون طيف¬سنجي تبديل فوريه مادون¬قرمز، طيف¬سنجي رامان و ميكروسكپ الكتروني روبشي گسيل ميداني مورد بررسي قرار گرفت. در ادامه منحني¬هاي سيكل گرمايش نمونه¬ها در دماهاي 300 و 500 درجه سانتي¬گراد با استفاده از كوره استوانه¬اي انجام و پايداري حرارتي پوشش كربن شبه¬الماسي بررسي شد. نتايج نشان داد كه پوشش¬هاي كربن شبه¬الماسي تا دماي 200 درجه سانتي¬گراد در مقابل حرارت پايدار مي¬باشند و در دماهاي بالاتر از 200 درجه سانتي¬گراد اين فيلم¬ها شروع به تجزيه شدن كرده و تخريب مي¬شوند.