شبيه سازي حركت ارتعاشي ميكروتيرك درمواجهه با نيروي مويينگي به كمك نرم افزار متلب

به منظور شبيه سازي توپوگرافي سطح نمونه توسط ميكروتير پيزوالكتريك لازم است كه پاسخ ارتعاشي ميكروتير پيزوالكتريك به ناهمواري سطح مورد بررسي قرار بگيرد. به منظور شبيه سازي ميكرو تير دي مسپ در نظرساخت شركت ويكو در نظر گرفته مي شود. ناهمواري سطح از نوع پله اي پاسخ زماني ميكرو تير را در سه مد اول ارتعاشي به سطح ناصاف گرفته مي شود. همانطور كه مشاهده مي شود با عبور پراب از روي ناصافي سطح و زياد شدن فاصله دامنه ارتعاشي نيز افزايش پيدا مي كند. از آنجايي كه ميكروتير پيزوالكتريك از اينرسي جرمي بالايي برخوردار است، پاسخ آن به ناصافي سطح در مد اول به كندي انجام مي شود، ولي در مدهاي بالاتر كه حركت ارتعاشي با فركانس بالاتري انجام مي شود، اين پاسخ سريعتر است. بنابراين در صورت استفاده از ميكروتير پيزوالكتريك در توپوگرافي سطح بهتر است از مدهاي ارتعاشي بالاتر استفاده شود.