رويه‌سنجي اپتيكي سطوح با ميكروسكوپ تداخلي ميرائو نور نيمه‌همدوس

Optical topography using low-coherence interference Mirau microscopy

ميكروسكوپ تداخلي نور نيمه‌همدوس، وسيله‌اي براي سنجش ناهمواري سطوح بازتابي است. استفاده از نور نيمه‌همدوس به عنوان چشمه‌ي نور اين ميكروسكوپ، امكان سنجش ناهمواري سطوح با زبري بالا را فراهم مي‌كند. در اين مقاله، به طراحي و پياده‌سازي ميكروسكوپ تداخلي نور نيمه همدوس ميرائو پرداخته شده است و روش تحليل داده‌هاي به‌دست آمده به وسيله‌ي ميكروسكوپ بيان شده است. در ادامه نتايج بررسي يك نمونه‌ي بازتابي كروي به كمك ميكروسكوپ تداخلي ارائه شده و پارامترهاي هندسي آن به‌دست آمده است.

Low-coherence interference microscopy is a standard Method to surface roughness measurement in micro and nano-meter scales. The advantage of this microscope is the ability to measure surface with high roughness. In this paper, the design and implementation of low-coherence interference Mirau microscopy are discussed and the data analysis method is expressed. In the following, the results of a microscopic spherical reflection sample are presented and its geometrical parameters are obtained.