اثرلايه نشاني با زاويه مورب بر خواص ساختاري لايه نازك ZnTe

The effect of Oblique Angle Deposithion on Structural Properties of ZnTe Thin Film

در اين كار لايه هاي نازك تلوريد روي به وسيله‌ي لايه نشاني مايل آماده و نمونه ها در زواياي مختلف نسبت به شار فرودي بر روي زيرلايه شيشه در زواياي 0 و 60 درجه لايه نشاني شدند. براي بررسي خواص ساختاري لايه ها از آناليزهاي پراش اشعه ايكس (XRD) استفاده گرديد. نتايج نشان داد كه نمونه ها به صورت ساختار مكعبي تشكيل شده اند. تصاوير ميكروسكوپ الكتروني روبشي گسيل ميدان (FESEM) تهيه شده از نمونه تشكيل ساختارهاي مايل ستون هاي رشد را نشان مي‌دهد. همچنين نتايج XRD نشان داد كه نمونه رشد داده شده در زاويه 60 درجه تنش بيشتري دارند.

In this work, thin layers of Zinc Telluride were prepared by obliqe angle deposition technique and the samples were deposited at different angles on glass substrate at 0 and 60 degrees. X-ray diffraction analysis (XRD) was used to study the structural properties of the layers. The results showed that the samples were formed in cubic structures. Field emission scanning electron microscope (FESEM) images of the samples confimed the formation of tilted coulums. In addition, the XRD results showed that the sample deposited at 60° had more stress.