محاسبه كامپيوتري پارامترهاي Δ وᴪ در سيستم بيضي سنجي در زير لايه هاي شفاف لايه نشاني شده با ضخامت و ضريب شكست معين

Computer calculation of Δ ,ᴪ of ellipsometry system for transparent substrates deposited with thin film layers with a given thicknesses and refractive index

چكيده اندازه گيري پارامترهاي لايه نازك با زيرلايه شفاف توسط سيستم بيضي سنجي با مشكلاتي همراه است و نتابج درستي ارائه نمي دهد. براي رفع اين مشكلات راه حل هاي تجربي پيشنهاد شده كه هر يك داراي نواقصي است. براي رفع اين نواقص، راهكار نويني با استفاده از يك برنامه كامپيوتري پيشنهاد شده كه براي لايه نازك با ضخامت و ضريب شكست معين، پارامترهاي Δ و ᴪ بيضي سنجي را با دقت خوبي تعيين مي نمايد. اين پژوهش در راستاي توانمند سازي روش بيضي سنجي در بررسي خواص لايه هاي نازك نشانده شده بر زير لايه هاي شفاف گام برداشته است.