تاثير دماي زير لايه بر ويژگي هاي ساختاري ، اپتيكي و الكتريكي لايه هاي نازك اكسيد روي تهيه شده با روش افشانه پايروليزز

Effect of substrate temperature on structural, optical and electrical properties of ZnO thin films prepared by spray pyrolysis

لايه هاي نازك اكسيد رويبا استفاده از محلول پيش كاده استات روي به روش افشانه پايروليزز روي ريز لايه هاي شيشه تهيه شدند تاثير دماي زير لايه در ويژگي هاي ساختاري اپتيكي و الكتريكي اين لايه ها مورد مطالعه قرار گرفته است نتايج پراش پرتو ايكس لايه هاي ZnO طبيعت پلي كريستال را نشان مي دهد براي تاييد و تشخيص پيوندهاي شيميايي از طيف تبديل فوريه فروسرخ استفاده شد همچنيني تغييرات طيف عبور لايه ها و مقاومت سطحي با در نظر گرفتن دما گزارش شده است.

Zinc oxide thin films were prepared by spray pyrolysis method on glass substrate using zinc acetate precursor solution. Influence of substrate temperature on structural, optical and electrical properties was investigated. The XRD results on ZnO thin films ,exhibited polycrystalline nature. FTIR transmittance spectra carried out for distinction and confirmation of chemical bonds. Variation of transmittance spectra and the sheet resistance in view of substrate temperature also reported.