اثر دماي باز پخت بر خواص لايه هاي نازك نانو ميكرومتري طلا ، تهيه شده به روش تبخير با باريكه الكتروني

The effect of annealing temperature on properties of nano-micro gold particles thin layers, prepared by electron beam evaporation

در اين تحقيق، فيلم هاي نازك طلا به روش تبخير با باريكه الكتروني بر روي بسترهاي شيشه اي تهيه شدند و سپس تحت دماهاي 573، 973، 773 و 873 درجه كلوين به مدت 1و 2 ساعت در معرض هوا توسط كوره باز پخت شدند. خواص فيزيكي و مورفولوژي آنها به صورت تابعي از دماي باز پخت به وسيله آناليز پس پراكندگي رادر فورد (RBS)، طيف سنجي پراش پرتوه (XRD)، اسپكترومتري فرابنفش مرئي ( UV - VIS ) و تصاوير ميكروسكوپ الكتروني روبشي گسيل ميداني (FE-SEM) مورد تجزيه و تحليل قرار گرفت. نتايج بدست آمده حاكي از آن است كه با افزايش دماي باز پخت، قله مشخصه نانوذرات طلا از بين مي رود. در اين تحقيق فيلم هاي نازك يكنواخت، تشكيل نانو ميكرو ذرات طلا مي دهند

In this study, thin gold films were prepared by electron beam evaportion onto glass substrates and have been annealed at the temperatures of 573 K , 673 K, 773 K and 873 K for time duration 1 and 2 hours by furnace in the presence of air. Their physical and morphological properties as a function of annealing temperature were analyzed using the Rutherford Backscattering Spectroscopy )RBS(, X Ray Diffraction (XRD), Ultraviolet- Visible Spectrometer (UV-VIS), and Field Emission-Scaninig Electron Microscopy (FE-SEM), methods. The obtained results indicate that with increasing annealing temperature, disappears the characteristic peak of gold nanoparticles. In this research, smooth gold thin film have been converted to micro- nano gold particles.