فرمول نيمه تجربي براي آهنگ كندو پاش يك هدف جامد بر حسب انرژي يون فرودي

A semi-empirical formula for the sputtering yield of a solid target versus incident ion energy

در اين تحقيق، يك فرمول نيمه تجربي براي آهنگ كندو پاش بر حسب انرژي يون فرودي (در حالت فرود نرمال) بر اساس نظريه زيگموند استخراج شده است كه ضرايب اين فرمول از طريق برازش با داده هاي تجربي آهنگ كندو پاش تعيين مي گردد و مي تواند براي يون ها و هدف هاي مختلف، مقادير متفاوتي داشته باشد. در اين تحقيق، ضرايب فرمول جديد بدست آمده براي آهنگ كند و بيش اتمهاي مس توسط يون هاي آرگون تعيين شده است. نتايج، نشان دهنده مي توافق خوب با داده هاي تجربي است.

In this research, a semi-empirical formula for the sputtering yield as function of the incident ion energy is obtained on the basis of Sigmund theory. The coefficients of this new function are determined by fitting with available experimental data and can be used for various ions and target .Here, we obtained the related coefficients for the sputtering yield of argon ions normally incident to copper target. The variation of the sputtering yields with the incident ion energy is in good agreement with experimental data.